第612章 桥假机制!40万辆,营收7.(3 / 6)

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; “你……你已经设计好了?”林南震惊地看着他。

    “嗯。”汪象朝点头,“你们只需要按照方案搭建原型机,然后进行实测。”

    “可……可我们连干涉测量仪还没完全调试好。”陈延森皱眉。

    “那就加快进度。”汪象朝语气坚定,“时间不多了。”

    “你又来了。”费学忍不住苦笑,“每次都让我们赶时间。”

    “这不是赶时间。”汪象朝看向众人,“这是在和时间赛跑。”

    众人沉默。

    他们知道,汪象朝说得没错。

    他们面对的,是一场关乎国家半导体未来的科技攻坚战。而他们,是唯一能完成这项任务的人。

    “好。”陈延森深吸一口气,“我们拼了。”

    接下来的几天,整个实验室进入了前所未有的高强度工作状态。

    干涉测量仪终于调试完成,镜片的抛光工艺也达到了0.02纳米的精度,自动校准程序也在不断优化中。

    终于,在第七天的凌晨,超精密调焦镜组的原型机正式组装完成。

    “准备测试。”汪象朝站在控制台前,目光深邃。

    激光启动,干涉信号被激发,镜片开始自动调整焦距。

    屏幕上,光斑的聚焦精度不断优化,最终稳定在0.1纳米!

    “成功了……”林南喃喃道。

    “真的成功了!”费学激动地握紧拳头。

    陈延森深吸一口气,看向汪象朝:“下一步,是什么?”

    汪象朝微微一笑,缓缓开口:

    “下一步,是光刻机的最后一道难关??晶圆台的超精密定位系统。”

    众人一震。

    “晶圆台?”林南心头一紧,“那可是光刻机的‘心脏’。”

    “没错。”汪象朝点头,“而我要做的,是让它,跳动得比任何一台光刻机都要精准。”

    实验室里,众人屏息凝神。

    他们知道,真正的决战,才刚刚开始。

    “晶圆台的超精密定位系统?”林南眉头紧锁,“这可不是光学系统能解决的问题。”

    “当然。”汪象朝点头,“晶圆台的定位精度,决定了光刻机能否实现亚纳米级的曝光分辨率。目前国际上最先进的光刻机,其晶圆台的定位误差控制在0.5纳米以内。而我们要做的,是把这个误差压缩到0.1纳米。”

    “0.1纳米?”

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