第一七一八章 ASML侵犯专利(3 / 3)
源系统专利的?”
张仲谋面色阴沉,立马认识到了问题的严重性,计划投资18亿美元提前开工的半导体生产线遇到大麻烦了!
国际公司发明专利申请一般需要18个月的时间,一旦BSEC不给ASML授权,ASML需要重新寻找新的浸没介质替代纯净水,一年内很难完成研制,等拿到公司发明专利,也许BSEC的40nm浸没式光刻机都研发成功了。
张仲谋心里明白,等林本坚和ASML发现BSEC申请了纯净水作为浸没介质的专利已经来不及了,只能硬着头皮继续研究,等有结果后再说。
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