第一三八一章 同意出口（3 / 3）
euvllc联盟中除了gca、英特尔和牵头的美国能源部以外，还有摩托罗拉、ad、ib，以及能源部下属三大国家实验室：劳伦斯利弗莫尔国家实验室、桑迪亚国家实验室和劳伦斯伯克利实验室。
gca光刻机半导体研究院院长兼任光刻机光源研究所所长汤普森院士从1993年7月开始研发euv，gca前后投资了1.5亿美元，也没有取得成功，1997年7月自动放弃了研究。
1997年10月，汤普森院士出面邀请英特尔和美国能源部共同开发euv。
前世，英特尔邀请尼康和asl加入euvllc联盟，但美国政府反对尼康加入，asl做出多重承诺后才得到这个千载难遇的机会，资金到位，技术入场，人才云集，euvllc联盟也花了近20年的时间，第一台可量产的asleuv样机才正式发布。
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