第355章 光刻机困境（2 / 2）

的那几位。

等王铭洋走到摆放光刻机的56号实验室，已经是一个小时后了，在这里，林盛果然正带着人在做实验收集数据。

“王总，不好意思，刚才接到刘助理通知的时候我们正在做实验，你也知道有时候实验一开始后就不好中断，要不然前面收集的数据就白费了。”

“没事，又不是什么十万火急的大事，做实验就先做着呗，我反正也要过来看看的。

你们这是做的多重曝光实验?进展如何？”

“是的。

我们现在做的是双重曝光，打算在双重曝光制造方法成功后再继续增加曝光次数。

目前，项目进展不太理想，因为机器在进行二次曝光时，定位误差偏离度有点大，成功率很低，就跟买彩票似的。”

“多次收集点位数据后分析散落分布规律也不行?”

“很难，到目前为止，我们收集数据分析得出的结果显示定位点的分布带有一定的随机性，这是机器精确度不够造成的。”

林盛把手里的数据和分析结果递给了王铭洋。

“你们做的这些工作不是没用嘛，这些数据的分布也是有一定规律的，只是根据分析结果得出的东西调整机器后曝光成功率提高得不多。”

“是的，所以我们计划做更多的实验，收集更多的数据，看看能不能找到更准确的散布规律。”

“这个方法能提高的程度始终有限，如果我们能买到更先进制程的机器就好了。”

“李总和我找了很多渠道商问过，限于瓦森纳协议的存在，他们都不肯卖给我们。”

“其实还有一个方法，这些机器都是十几年前生产的，限于当时的技术，用来做定位判断的传感器精度远远比不上现在市面上能买到的高精度传感器。

如果我们能够把这些机器上原有的旧传感器更换成新的，再重新校准控制系统，理论上是能解决曝光精度问题的。”

王铭洋提出了一个想法，这是因为，他相信自己的级大脑。

它所带来的观感方面的提升，大大提高了王铭洋手搓高精度机械零件的能力。

传感器和光刻镜头的镜片，虽然照样买不到国外的最新型号，但经过自己的改造组装，王铭洋相信它们的精度等级会上升一到两个等级。

只是用手搓的方法，不能大批量的生产，只能满足某些特定情况下的需求。